DH-LP430 LED芯片(晶粒)高速检测机

产品特色:
      灵活的视场标定,保护不同规格的芯片快速扫描定位
      覆盖式扫描算法,实现芯片漏识别率低于0.1%
      检测观点参数重复测量一致性99.9%以上
      支持MW与MCD两种测量模式
      支持多电流、多波长,可搭配ESD测试

参数规格:
      项目 参数值
      检测速度 120ms/chip
      X,Y定位精度/旋转精度 0.005mm/0.05度
      视觉识别精度 1/16pixel
      适用晶圆尺寸 2-4inch/5-7inch
      适用晶粒尺寸 6milX6mil-60milX60mil
      影像ROI 可调