光学干涉表面轮廓仪

 产品介绍:通过光学干涉方法,实现表面形貌和微结构的非接触精密测量与分析,可输出表面形貌二、三维数据及评定参数,进行微结构参数分析。


   性能特点:垂直范围:80um;

                    垂直分辨率:0.1nm;

                    水平单幅视场范围:ϕ0.8mm

                    水平分辨率1um

                    输出参数:二维粗糙度参数(ISO25178):Ra,Rz,Rz,Rmax,Rp,Rq,Rpm,Rvm,R3z , Tpa

                                     三维粗糙度参数(ISO25178):Sa, Sq, Sp, Sv, Sz, Ssk, Sku, Sal, Str, Sds, Sdq, Sdr, Ssc

应用实例:

①Ra=1.732um标准多刻线样板测试

②MEMS结构表面测试结果

       ③激光点坑加工表面测试结果

④微镜阵列模芯测试结果