可溯源原子力探针扫描显微镜

产品介绍:

基于白光显微干涉的原子力探针扫描测量方法,该方法利用白光干涉零级条纹的移动量测量探针微悬臂的变形量。采用了融合垂直扫描系统的位移量和微悬臂变形量得到被测表面形貌的原子力探针接触式工作方法,实现了原子力探针的可溯源跟踪测量,是一种理想的测量超精密表面三维形貌的仪器。

技术指标:

1) 最大单幅扫描范围:20um×20um

2) 最大扫描区间范围:20mm×20mm

3) 水平分辨率:2nm

4) 垂直分辨率:1nm